★ 電(diàn)子(zǐ)氣體(tǐ):惰性氣體(tǐ)、矽族氣體(tǐ)、鹵化∑₽★$(huà)物(wù)或鹵化(huà)物(wù)氣體(tǐ)、氟碳氣體(tǐ)、含硼、磷、☆" ♥砷等原子(zǐ)氣體(tǐ);
★高(gāo)純氯氣、氨氣、氖氣、氪氣、三氯氫矽、四氟化(huà)碳、六氟化(π₩φhuà)硫、鍺烷、高(gāo)純鍺烷、氯化(huà)氫、氧化(huà) Ωπγ亞氮、氧硫化(huà)碳(COS羰基硫)、乙硼烷、砷烷、高(gāo)純π™&₽砷烷、磷烷、高(gāo)純磷烷、矽烷、二氯二氫矽、高(gāo)純三氯化(huà)硼、≠∑高(gāo)純溴化(huà)氫、高(gā₽↓o)純乙矽烷、八氟環丁烷、甲烷、一(yī)氧化₩<∏≈(huà)二氮、電(diàn)子(zǐ)級正矽酸乙酯、電(d ↓iàn)子(zǐ)級氧化(huà)亞氮、六氯乙矽烷和(hé)₹ 四氯化(huà)矽等。
★半導體(tǐ)電(diàn)子(zǐ)特氣:超純氨、高(gāo)純π<σ氧化(huà)亞氮、正矽酸乙酯、高(gāo)純二氧化(huà)碳、八氟環丁烷、六氟丁二烯、一(≈↕♦≈yī)氟甲烷、矽烷混合氣等;
★制(zhì)備高(gāo)純電(diàn)子(zǐ)氣體(tǐ)純化(huà)技(jì)術(sπ↓£hù)、電(diàn)解技(jì)術(shù)、電(diàn)γβ₩•解電(diàn)源、淨化(huà)技(jì)術(shù₹₽)、高(gāo)精度分(fēn)析檢測技(jì)術(shù)、氣體(tǐ)潔淨充裝λ↕技(jì)術(shù)、高(gāo)純混合γ♦"氣體(tǐ)配制(zhì)系統、電(diàn)子(←γzǐ)氣體(tǐ)輸送系統、管道(dào)與運β>輸技(jì)術(shù)等。
惰性氣體(tǐ)、矽族氣體(tǐ)、鹵化(huà)←₽♦物(wù)或鹵化(huà)物(wù)氣體(tǐ)、含硼、磷、砷等原子(zǐ)的(de)氣體(tǐ)↑≈λ®,以及氟碳氣體(tǐ);
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